KCSDT 2024 GUMI 논문상
우수논문상
[발표기호: FA1-3]
Characterization of Ceria Nanoparticles as Abrasives Applied with Defoaming Agents for Semiconductor CMP Applications
Sohee Hwang, SooYeon Choi, and Woonjung Kim
Department of Chemistry, University of Hannam
[발표기호: FA1-3]
비대칭 일함수 금속을 사용한 ZrO2 시냅스 MFMIS FeTFT ZrO2 Synaptic MFMIS FeTFT Using Asymmetric Metal Work-function
윤승현1, 정철원2, 구본철1, 박경수1, 박준혁1, 최창환1
1한양대학교 신소재공학과, 2한양대학교 에너지공학과
우수포스터상
[발표기호: TP1-004]
차세대 TMDc 반도체 식각공정 및 진단 결과를 활용한 머신러닝 예측 모델 Machine Learning Prediction Model Utilizing Next-generation TMDc Semiconductor Etching Process and Diagnostic Results
강민지1,3, 이승환2, 김무영1, 김성호1,3, 최민섭3, 강우석1, 김태성2, 김형우1,4
1한국기계연구원 반도체장비연구센터, 2성균관대학교 기계공학과, 3충남대학교 신소재공학과, 4과학기술연합대학원대학교 나노메카트로닉스
[발표기호: TP1-009]
Effect of Dry Oxidation Temperature on the Characteristics of 4H-SiC MOS Capacitor
Young Jae Park1, Seongjun Kim1, Joon Kim2,, Hyeon Ju Hwang1, Yu Jeong Lee1, Kyeong-Keun Choi1, Myung Jin Park1, Woong-Suk Yang1, Sung-Woong Han1, Dae-Hwan Kang1,3, and Hoon-Kyu Shin1
1National Institute for Nanomaterials Technology, POSTECH, 2Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH, 3Department of Semiconductor Engineering, POSTECH
[발표기호: TP1-032]
Remote Plasma Source를 위한 RF 전원회로 설계 RF Power Circuit Design for Remote Plasma Source
신희성1, 이신의2, 임경현2, 신진영1, 정의훈2
1명지대학교 전자공학과, 2명지대학교 전기공학과
[발표기호: TP1-005]
High-Stable Quantum Dot Light-Emitting Devices by Atomistic Surface Modulation on Gradient Quantum Dots
이재성, 강병호, 정상훈, 염세혁, 이왕훈
구미전자정보기술원 차세대반도체연구센터
[발표기호: TP1-044]
Enhanced Mechanical Properties of Aluminum Nitride-yttria Ceramics through Grain Refinement by Pressure Assisted Two-step Sintering
Nafees Hassan, Juyeong Lee, and Jaehun Cho
School of Materials Science and Engineering, Kumoh National Institute of Technology
[발표기호: TP1-043]
다이 및 와이어 본딩 공정을 위한 Sn-Sb Backside Metal의 계면 구조 및 전단 강도 분석
Enhancing Die and Wire Bonding Process Reliability: Microstructure Evolution and Shear Strength Analysis of Sn-Sb Backside Metal
최여진, 이유나, 안성진
국립금오공과대학교 신소재공학과
[발표기호: TP1-076]
InAsxP1-x 변성 완충 구조의 결함과 광반사 분광학 관계 InAsxP1-x Defects in Denatured Buffer Structures and Their Relationship to Optical Reflection Spectroscopy
박경두, 김근형, 강태인, 김종수
영남대학교 물리학과
[발표기호: TP1-067]
유도 결합 플라즈마의 전력 전달 효율 측정법 유효성 연구
A Study on the Validity of Power Transfer Efficiency Measurement Method in an Inductively Coupled Plasma
이영규, 김재휘, 김민석, 정진욱
한양대학교 전기공학과